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半導體拋光研磨墊專用DEX“ 墊修整器

參   考   價: ￥ 3569

訂  貨  量: ≥1 件

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地深圳市

更新時間：2026-01-15 13:42:22瀏覽次數(shù)：84次

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產(chǎn)地類別 進口 價格區(qū)間 1-5萬
應(yīng)用領(lǐng)域 化工,電子/電池,電氣,綜合
半導體拋光研磨墊專用“DEX“ 墊修整器
該修整器通過精密的鉆石磨粒選擇和固定技術(shù)，解決了傳統(tǒng)修整器在CMP工藝中容易出現(xiàn)的修整不均勻、個體差異大等問題，確保了研磨墊表面狀態(tài)的穩(wěn)定性和一致性，從而提高半導體器件的平坦化加工質(zhì)量。

半導體拋光研磨墊專用"DEX" 墊修整器

半導體拋光研磨墊專用"DEX" 墊修整器

拋光用研磨墊專用"DEX" 墊修整器 | 東京鉆石工具制作所

產(chǎn)品概述

這是專門為拋光用研磨墊設(shè)計的修整器產(chǎn)品。通過精選鉆石磨粒并固定在基體上，實現(xiàn)了個體差異小、穩(wěn)定可靠的修整效果。主要用于半導體器件平坦化工藝中使用的研磨墊修整。

產(chǎn)品特點

1. 高精度制造工藝

  • 精選鉆石磨粒固定在基體上
  • 個體差異小，修整效果穩(wěn)定
  • 確保研磨墊表面狀態(tài)的一致性

2. 應(yīng)用領(lǐng)域

  • 半導體器件平坦化工藝
  • 拋光用研磨墊的修整處理
  • CMP（化學機械拋光）工藝

產(chǎn)品規(guī)格參數(shù)

尺寸規(guī)格

  • 修整器外徑：~φ740D（29B）
  • 基體精度：
    • 平面度 ≦0.3
    • 裝配公差 ≦0.05

材料規(guī)格

  • 基體材質(zhì)：SUS304, SUS420
  • 基體涂層：可選擇特氟龍涂層（有/無）
  • 電沉積面：單面或雙面
  • 磨粒：鉆石（塊狀類型）
  • 粒度：#60~#400

使用結(jié)合劑

  • 電沉積結(jié)合劑（Electroplated）

技術(shù)優(yōu)勢

該修整器通過精密的鉆石磨粒選擇和固定技術(shù)，解決了傳統(tǒng)修整器在CMP工藝中容易出現(xiàn)的修整不均勻、個體差異大等問題，確保了研磨墊表面狀態(tài)的穩(wěn)定性和一致性，從而提高半導體器件的平坦化加工質(zhì)量。


該修整器通過精密的鉆石磨粒選擇和固定技術(shù)，解決了傳統(tǒng)修整器在CMP工藝中容易出現(xiàn)的修整不均勻、個體差異大等問題，確保了研磨墊表面狀態(tài)的穩(wěn)定性和一致性，從而提高半導體器件的平坦化加工質(zhì)量。

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