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產(chǎn)地類別	進(jìn)口	價(jià)格區(qū)間	5千-1萬(wàn)
儀器原理	其他原理	儀器種類	在線式
應(yīng)用領(lǐng)域	化工,電子/電池,電氣

殘留氣體分析儀真空蒸著濺射成膜設(shè)備監(jiān)測(cè)

Qulee BGM2 系列（101/201/102/202）是一款主打簡(jiǎn)潔易用、高性價(jià)比的新型殘留氣體分析計(jì)（RGA），核心基于四重極型質(zhì)量分析技術(shù)，專為真空設(shè)備的氣體監(jiān)測(cè)與管理設(shè)計(jì)，是生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)工藝監(jiān)測(cè)的通用型設(shè)備，其中 BGM2-101/102 為基礎(chǔ)款，201/202 為高規(guī)格款，以下是核心內(nèi)容總結(jié)：

產(chǎn)品核心特點(diǎn)

高性價(jià)比通用設(shè)計(jì)：兼顧實(shí)用性與成本，適配工業(yè)生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)的常規(guī)殘留氣體分析需求，是真空設(shè)備管理的標(biāo)準(zhǔn)化監(jiān)測(cè)工具；
無電腦獨(dú)立操作：采用顯示部一體化設(shè)計(jì)，無需外接電腦即可完成全部測(cè)量操作，適配現(xiàn)場(chǎng)快速檢測(cè)需求；
一鍵極簡(jiǎn)操作：搭載 One Click 功能，支持 He/H?O/N?/O?等常見氣體及任意氣體的一鍵分析，無需復(fù)雜參數(shù)設(shè)置，操作人員無專業(yè)門檻；
功能全面且實(shí)用：內(nèi)置完善的泄漏測(cè)試功能，同時(shí)支持全壓測(cè)量，一臺(tái)設(shè)備兼顧氣體成分分析與壓力檢測(cè)，還標(biāo)配 Qulee QCS 專業(yè)分析軟件，滿足精細(xì)化數(shù)據(jù)處理需求；
工業(yè)適配性強(qiáng)：符合 CE 標(biāo)準(zhǔn)，支持高溫烘烤（傳感器單元拆 / 裝狀態(tài)下分別可耐受 250℃/120℃），適配真空設(shè)備的高溫維護(hù)場(chǎng)景，使用溫度范圍 10~40℃，滿足工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境要求。

核心規(guī)格與機(jī)型差異

全系列均采用四重極型質(zhì)量分析計(jì)，分解能 M/△M=1M (10% P.H.)，使用壓力 1×10?2Pa，供電為 DC24V±10％ 50W，核心差異體現(xiàn)在質(zhì)量數(shù)測(cè)量范圍與檢測(cè)器配置，直接決定檢測(cè)靈敏度和適用場(chǎng)景：

機(jī)型	質(zhì)量數(shù)范圍	檢測(cè)器	靈敏度	最小檢測(cè)分壓
BGM2-101	1~100 amu	法拉第杯	10?? A/Pa	10?? Pa
BGM2-201	1~200 amu	法拉第杯	10?? A/Pa	10?? Pa
BGM2-102	1~100 amu	二次電子倍增管 + 法拉第杯	4A/Pa	10?12 Pa
BGM2-202	1~200 amu	二次電子倍增管 + 法拉第杯	4A/Pa	10?12 Pa
關(guān)鍵區(qū)別：102/202 雙檢測(cè)器款靈敏度和檢測(cè)精度遠(yuǎn)高于 101/201 單法拉第杯款，可實(shí)現(xiàn)超微量殘留氣體檢測(cè)；201/202 款的質(zhì)量數(shù)測(cè)量范圍拓展至 200 amu，能分析更大分子量的氣體成分。

核心適用場(chǎng)景

專為真空工藝設(shè)備的殘留氣體分析設(shè)計(jì)，覆蓋工業(yè)生產(chǎn)與研發(fā)多場(chǎng)景：

真空蒸著、濺射等成膜設(shè)備的殘留氣體監(jiān)測(cè)；
高真空排氣裝置的氣體成分分析；
冷凍干燥設(shè)備的工藝氣體檢測(cè)；
科研領(lǐng)域的各類氣體成分分析實(shí)驗(yàn)。

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