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日本KOSAKA小坂微細(xì)穴三次元測定機(jī)FP-Labo

日本KOSAKA小坂微細(xì)穴三次元測定機(jī)FP-Labo

日本KOSAKA小坂微細(xì)穴三次元測定機(jī)FP-Labo是一款專為微細(xì)孔內(nèi)部形貌測量設(shè)計(jì)的高精度接觸式測量儀。該設(shè)備采用纖維測針技術(shù)，可探測微細(xì)孔（φ10μm起）至深度約300μm的深孔內(nèi)部形貌，擁有10nm的高分辨率，能夠在非破壞條件下精確測得深孔內(nèi)徑、深度、壁面粗糙度、圓度、平面度及直角度等參數(shù)。

FP-Labo的核心優(yōu)勢在于其創(chuàng)新的測針技術(shù)與精密機(jī)械結(jié)構(gòu)。纖維測針的細(xì)小直徑使其能夠進(jìn)入傳統(tǒng)測針難以觸及的微小孔徑，而高剛性工作臺與空氣軸承系統(tǒng)則有效抑制外部震動，確保測量穩(wěn)定性。設(shè)備配備直動式傳感器，支持Z方向自動停止功能，通過伺服控制自動尋找最佳測量位置，減少手動微調(diào)需求，顯著提升操作效率。此外，F(xiàn)P-Labo采用高分辨率CCD實(shí)時(shí)觀測探針工作狀態(tài)，便于精準(zhǔn)定位測試區(qū)域，同時(shí)支持中文化軟件，除臺階分析外還具備粗糙度解析功能，滿足多樣化檢測需求。

該設(shè)備廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電、機(jī)械加工及科研領(lǐng)域，尤其適用于MEMS器件、光電子元件、精加工表面及生物醫(yī)學(xué)器件等微米/納米級材料的膜厚、臺階及段差測量。其高精度與高重復(fù)性（1σ 0.5nm以內(nèi)）使其成為質(zhì)量控制與研發(fā)分析的理想工具，既能滿足車間環(huán)境中的快速幾何測量需求，也可勝任實(shí)驗(yàn)室對高精度測量的嚴(yán)苛要求。FP-Labo的推出，進(jìn)一步鞏固了KOSAKA小坂研究所在精密測量領(lǐng)域的地位。