LINTEC琳得科  VU-0462N-T35 半導(dǎo)體汽化器

LINTEC琳得科  VU-0462N-T35 半導(dǎo)體汽化器

質(zhì)量流量控制器 | 汽化器 | 流量控制領(lǐng)域的先驅(qū)

汽化器和汽化技術(shù)

汽化器（直接汽化法）

高效蒸發(fā)器 [VU-450]

高效蒸發(fā)器 [VU-450]

由于雙流體噴嘴的高效汽化作用，該汽化器具有大流量和大汽化室的高效汽化器。

采用由液體噴嘴和載氣噴嘴（0.8-180SLM）組成的雙流體噴嘴，實(shí)現(xiàn)高效汽化。汽化室容積大于VU-430，從而延長了對流時間并增大了換熱面積?？蓪?shí)現(xiàn)高流量汽化。

由于它是閥門集成式汽化器，當(dāng)與 LM-3000L 結(jié)合使用時，可以在汽化器旁邊控制液體流量，從而實(shí)現(xiàn)高度靈敏的汽化流量控制。

高效蒸發(fā)器 VU-450

特征

高效汽化

可維護(hù)性

閥門鄰近

使用示例

高流速汽化

通過增大汽化室，從中央雙流體噴嘴噴出的霧氣比 VU-430 更分散。TEOS 可實(shí)現(xiàn) 20 g/min 的大流量穩(wěn)定汽化，H2O 可實(shí)現(xiàn) 5 g/min 的大流量穩(wěn)定汽化。

規(guī)格

最高溫度

載氣流量

最大水汽化流量

TEOS最大汽化流量

海豹

200℃

0.8~130SLM

5克/分鐘

20克/分鐘

奧

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