LINTEC琳得科 半導(dǎo)體燃?xì)饧訜崞?HX-0051H 

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質(zhì)量流量控制器 | 汽化器 | 流量控制領(lǐng)域的先驅(qū)

小型燃?xì)饧訜崞?/p>

小型燃?xì)馊∨?[HX-0020]

小型燃?xì)馊∨?[HX-0020]

結(jié)構(gòu)緊湊的小型燃?xì)饧訜崞鳎罡呒訜崮芰?200°C。

特征

緊湊型設(shè)計(jì)，面對(duì)面距離為 160 毫米，寬度為 55 毫米。

10 SLM 的 N2 氣體加熱至 200°C

燃?xì)饧訜岵粫?huì)腐蝕燃?xì)饨佑|材料（SUS316L）。

可在真空或壓力下使用

HX-0020

使用示例

ALD 和 CVD 設(shè)備的熱吹掃

液化氣體常用于真空沉積工藝，例如原子層沉積（ALD）和化學(xué)氣相沉積（CVD），但使用室溫氣體進(jìn)行吹掃會(huì)導(dǎo)致氣體冷卻和冷凝，從而造成吹掃不充分。因此，熱吹掃是一種有效的方法。這款緊湊型氣體加熱器（HX-0020）占地面積與微型燃料電池（MFC）相仿，最高加熱溫度可達(dá)200°C，能夠在靠近使用點(diǎn)的位置加熱氣體，使其成為ALD和CVD等真空沉積設(shè)備熱吹掃的理想選擇。

規(guī)格

流量（N2轉(zhuǎn)化率）

壓力損失（N2）

耐壓（G）

工作溫度

氣體接觸材料

規(guī)格

10SLM

14千帕

1兆帕

200℃

SUS316L

*有關(guān)小型燃?xì)饧訜崞骱托⌒蜔峤粨Q器的詳細(xì)規(guī)格

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