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HORIBA的S48系列高精度(RS精度)/快速響應(yīng)氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，簡稱MFC）廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、太陽能電池生...

HORIBA的S48系列高精度(RS精度)/快速響應(yīng)質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，簡稱MFC）廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、太陽能電池生產(chǎn)、...

SEC-E 系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器具有可靠的熱傳感器和電磁閥，可實現(xiàn)高水平的氣流控制。作為一種多功能組件，SEC-E 系列質(zhì)量流量控制器可用于各種行業(yè)。

S600系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器適用于各種行業(yè)和應(yīng)用。S600系列可以控制廣泛的流量：從3 SCCM到500 SLM，并具有各種類型的通信可用，即模擬、RS485...

壓差式質(zhì)量流量控制器 D500這款技術(shù)優(yōu)良的質(zhì)量流量控制器具備壓差檢測功能和壓電驅(qū)動閥。 CRITERION D500 適用于一系列優(yōu)良的半導(dǎo)體制程，具有壓力補...

HORIBA SEC-N100系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器適用于各種行業(yè)和應(yīng)用。該質(zhì)量流量控制器可以控制不同范圍的流量：10 SCCM 至 1000 SLM。

HORIBA D700MG 是一款高響應(yīng)壓力非敏感質(zhì)量流量控制器，專為半導(dǎo)體及相關(guān)行業(yè)中對高精度、快響應(yīng)和耐腐蝕性有嚴(yán)格要求的氣體輸送工藝而開發(fā)。

D700T是為關(guān)鍵半導(dǎo)體制造工藝設(shè)計的性能優(yōu)秀的壓力不敏感質(zhì)量流量控制器。D700T采用了HORIBA CRITERION基于壓力的流量測量和控制技術(shù)，以提供行...

新型壓力補償質(zhì)量流量控制器SEC-Z700S 系列配備了新開發(fā)的熱傳感器和壓力補償功能，可實現(xiàn)穩(wěn)定的流量控制。集成壓力測量功能降低了氣體輸送系統(tǒng)的成本、尺寸和復(fù)...