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MC-5470CLINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器
參考價(jià): 25080
訂貨量: 1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • MC-5470C 產(chǎn)品型號(hào)
  • LINTEC/琳得科 品牌
  • 經(jīng)銷(xiāo)商 廠(chǎng)商性質(zhì)
  • 成都市 所在地

訪(fǎng)問(wèn)次數(shù):197更新時(shí)間:2025-03-26 15:07:22

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
產(chǎn)地類(lèi)別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 綜合
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-5470C
質(zhì)量流量控制器是一種被使用在半導(dǎo)體,液晶面板以及其他電子設(shè)備制造工程當(dāng)中,控制氣體或液體質(zhì)量流量的高精密儀器。
產(chǎn)品介紹

LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-5470C


LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-5470C

質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller,MFC)是一種用于精確測(cè)量和控制氣體或液體質(zhì)量流量的關(guān)鍵工業(yè)設(shè)備。作為現(xiàn)代工業(yè)自動(dòng)化過(guò)程控制的核心組件,MFC通過(guò)將質(zhì)量流量傳感器、控制閥和比例積分微分(PID)控制電路集成于一體,實(shí)現(xiàn)對(duì)流體流量的高精度閉環(huán)控制,典型控制精度可達(dá)±0.5%~±1.0%滿(mǎn)量程(FS)。

質(zhì)量流量控制器主要由質(zhì)流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構(gòu)成。當(dāng)氣體流入后,部分的氣體從分流器導(dǎo)入質(zhì)流傳感器,由質(zhì)流傳感器所輸出的流量信號(hào)比對(duì)設(shè)定的流量信號(hào),反饋調(diào)節(jié)控制閥的開(kāi)度,以此進(jìn)行流量的控制。

心技術(shù)架構(gòu)

傳感系統(tǒng):

熱式傳感:基于King's Law原理,采用毛細(xì)管式或旁路式設(shè)計(jì),溫度分辨率達(dá)0.01℃

壓差式傳感:基于層流元件和壓差傳感器組合,適用于大流量范圍(0.1-5000SLM)

科里奧利式:直接質(zhì)量測(cè)量,精度可達(dá)±0.1%讀數(shù)

控制系統(tǒng):

24位Σ-Δ ADC轉(zhuǎn)換器

數(shù)字PID算法(響應(yīng)時(shí)間<100ms)

支持Modbus RTU/Profibus DP通訊協(xié)議

溫度最小壓差最大壓差精度控制范圍F.S.馬克斯 FS密封
15~35°C50kPa300kPa±1%S.P.2~100%滿(mǎn)量程10單片機(jī)CM300 升

氣體隔膜隔離閩體及驅(qū)動(dòng)裝置,極大地減小閉死容積。這些特殊設(shè)計(jì),可以增強(qiáng)氣體的流通,降低污染物影響,使設(shè)備具備高澄換性,保證更長(zhǎng)的使用壽命,也更適合于液化氣體等優(yōu)勢(shì)。




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