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MC-710LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器
參考價(jià): 25230
訂貨量: 1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • MC-710 產(chǎn)品型號(hào)
  • LINTEC/琳得科 品牌
  • 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
  • 成都市 所在地

訪問次數(shù):257更新時(shí)間:2025-03-26 15:33:38

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 綜合
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-710
質(zhì)量流量控制器是一種被使用在半導(dǎo)體,液晶面板以及其他電子設(shè)備制造工程當(dāng)中,控制氣體或液體質(zhì)量流量的高精密儀器。
產(chǎn)品介紹

LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-710


LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-710

質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller,MFC)是一種用于精確測(cè)量和控制氣體或液體質(zhì)量流量的關(guān)鍵工業(yè)設(shè)備。作為現(xiàn)代工業(yè)自動(dòng)化過程控制的核心組件,MFC通過將質(zhì)量流量傳感器、控制閥和比例積分微分(PID)控制電路集成于一體,實(shí)現(xiàn)對(duì)流體流量的高精度閉環(huán)控制,典型控制精度可達(dá)±0.5%~±1.0%滿量程(FS)。


質(zhì)量流量控制器主要由質(zhì)流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構(gòu)成。當(dāng)氣體流入后,部分的氣體從分流器導(dǎo)入質(zhì)流傳感器,由質(zhì)流傳感器所輸出的流量信號(hào)比對(duì)設(shè)定的流量信號(hào),反饋調(diào)節(jié)控制閥的開度,以此進(jìn)行流量的控制。

型應(yīng)用場(chǎng)景

1. 半導(dǎo)體制造:

晶圓刻蝕工藝(Cl?、CF?等特種氣體控制)

CVD沉積(SiH?/N?O流量比控制±1%)

2. 新能源領(lǐng)域:

燃料電池氫氣供應(yīng)(動(dòng)態(tài)響應(yīng)<50ms)

鋰電材料燒結(jié)(N?/O?混合控制))

3. 制藥行業(yè):

生物反應(yīng)器氣體供應(yīng)(O?/CO?/N?三聯(lián)控)

4. 科研實(shí)驗(yàn):

催化反應(yīng)研究(多路氣體并行控制)

溫度最小壓差最大壓差精度控制范圍最小F.S.最大F.S.密封材
15~35℃50kPa300kPa±1%F.S.2~100%F.S.10SCCM50SLMAu

技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)

智能化升級(jí):

集成AI預(yù)測(cè)性維護(hù)功能

5G遠(yuǎn)程監(jiān)控與參數(shù)優(yōu)化

微型化發(fā)展:

MEMS流量傳感器(芯片級(jí)集成)

適用于便攜式分析儀器

多物理場(chǎng)耦合:

流量-溫度-壓力協(xié)同控制

適應(yīng)超臨界流體等特殊工況



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