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目錄:蘇州悉識(shí)科技有限公司>>膜厚儀>> NS-30系列桌面式自動(dòng)膜厚儀

桌面式自動(dòng)膜厚儀

  • 桌面式自動(dòng)膜厚儀
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參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 品牌 Acuitik
  • 型號(hào) NS-30系列
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 上海市
屬性

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更新時(shí)間:2025-11-04 11:47:14瀏覽次數(shù):191評(píng)價(jià)

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應(yīng)用領(lǐng)域 生物產(chǎn)業(yè),能源,電子/電池,包裝/造紙/印刷,汽車及零部件
NS-30 系列 (桌面式自動(dòng)膜厚儀)是桌面式自動(dòng)膜厚測(cè)量分析系統(tǒng)。在膜厚測(cè)量的基礎(chǔ)上迭加自動(dòng)測(cè)樣載臺(tái),能夠?qū)υO(shè)置好的點(diǎn)位進(jìn)行自動(dòng)測(cè)量,并進(jìn)一步生成2D和3D的資料分布圖。 NS-30系列適用于晶圓膜厚測(cè)量或光伏電池膜厚測(cè)量等。
NS-30系列 (桌面式自動(dòng)膜厚儀)是桌面式自動(dòng)膜厚測(cè)量分析系統(tǒng)??蓪?shí)現(xiàn)折射率吸收率消光系數(shù)測(cè)量,在膜厚測(cè)量的基礎(chǔ)上迭加自動(dòng)測(cè)樣載臺(tái),能夠?qū)υO(shè)置好的點(diǎn)位進(jìn)行自動(dòng)測(cè)量,并進(jìn)一步生成2D和3D的資料分布圖。NS-30系列適用于晶圓膜厚測(cè)量或光伏電池膜厚測(cè)量等。

NS-30 自動(dòng) mapping 膜厚儀

一、NS-30 系列 (桌面式自動(dòng)膜厚儀)的特色

1、樣品自動(dòng)測(cè)量,平臺(tái)尺寸100mm~450mm可選;
2、軟件根據(jù)需求自動(dòng)生成測(cè)量點(diǎn)位分布;
3、2D和3D測(cè)繪效果,包含厚度/折射率/反射率等信息;
4、可測(cè)量薄膜應(yīng)力和表面彎曲(Stress/Bow);
二、NS-30 自動(dòng) mapping 膜厚儀參數(shù)規(guī)格
型號(hào) NS-30UV NS-30 NS-30NIR
波長(zhǎng)范圍 190 nm – 1100 nm 380 nm – 1050 nm 950 nm – 1700 nm
厚度測(cè)量范圍1 1 nm – 40 μm 15 nm – 80 μm 150 nm – 250 μm
準(zhǔn)確度2 1 nm  0.2% 2 nm  0.2% 3 nm  0.4%
精度3 0.02 nm 0.02 nm 0.1 nm
穩(wěn)定性4 0.05 nm 0.05 nm 0.12 nm
光斑大小 1.5 mm 1.5 mm 1.5 mm
測(cè)量速度 < 1s(單次測(cè)量) < 1s(單次測(cè)量) < 1s(單次測(cè)量)
光源 鹵鎢燈 + 氘燈 鹵鎢燈 鹵鎢燈
樣品尺寸 直徑從1mm  300mm或更大 直徑從1mm  300mm或更大 直徑從1mm  300mm或更大
1 取決于具體材料
2 Si/SiO2(500~1000nm)標(biāo)樣片
3 計(jì)算100次測(cè)量500nm SiO2標(biāo)準(zhǔn)片的1倍標(biāo)準(zhǔn)偏差,對(duì)20個(gè)有效測(cè)量日的1倍標(biāo)準(zhǔn)偏差取平均
4 計(jì)算100次測(cè)量500nm SiO2標(biāo)準(zhǔn)片的平均值,對(duì)20個(gè)有效測(cè)量日的平均值做2倍標(biāo)準(zhǔn)偏差

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