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半導(dǎo)體薄膜非接觸測(cè)厚儀

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品牌
型號(hào) NS-30
廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
所在地 上海市

屬性

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更新時(shí)間：2025-11-04 11:44:26瀏覽次數(shù)：150評(píng)價(jià)

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產(chǎn)地類別	國(guó)產(chǎn)	價(jià)格區(qū)間	20萬(wàn)-50萬(wàn)
應(yīng)用領(lǐng)域	生物產(chǎn)業(yè),能源,電子/電池,包裝/造紙/印刷,航空航天

NS-30半導(dǎo)體薄膜非接觸測(cè)厚儀是一款基于白光干涉原理的高精度測(cè)量設(shè)備，特別適用于需要自動(dòng)化測(cè)量和精準(zhǔn)厚度分布分析的場(chǎng)景。

詳細(xì)介紹

　　1、核心原理

　　垂直入射的高穩(wěn)定寬波段光入射到樣品表面，在各膜層之間產(chǎn)生光學(xué)干涉現(xiàn)象，反射光經(jīng)過(guò)光譜分析以及回歸算法可計(jì)算出薄膜各層的厚度。適合測(cè)量納米級(jí)至微米級(jí)的透明或半透明膜層的厚度、反射率、折射率等參數(shù)。
核心原理

　　2、具體參數(shù)

　　- 核心原理：垂直入射寬波段白光干涉技術(shù)

　　- 測(cè)量范圍：1 nm 至 250 μm

　　- 波長(zhǎng)范圍 (NIP型號(hào))：950 nm - 1700 nm (近紅外波段)

　　- 準(zhǔn)確度：3 nm 或 0.4%

　　- 重復(fù)精度：0.1 nm

　　- 測(cè)量速度：< 1秒/單點(diǎn)

　　- 光斑大小：1.5 mm

　　- 核心特色：自動(dòng)樣品載臺(tái)，可預(yù)設(shè)點(diǎn)位進(jìn)行自動(dòng)測(cè)量，并生成厚度、折射率、反射率的2D/3D分布圖

　　- 樣品臺(tái)尺寸：100mm 至 450mm 可選

　　- 測(cè)量能力：可測(cè)量多層復(fù)合薄膜各層的厚度、折射率(n)和反射率

　　3、核心功能

　　4、實(shí)測(cè)結(jié)果展示

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