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微電子打印機制備壓力傳感器教程

時間：2026/1/14閱讀：108
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新建器件


首先按照下面壓力傳感器的結構新建層。

一層：電極層—打?。築ASE-CP12  DPI：25um）

第二層：介電層—點膠（墨水：SENS-P300  點膠針頭直徑：160um）

第三層：電極層—打?。築ASE-CP12  DPI：25um）


繪制圖形


一層和第三層都采用噴墨打印，打印的墨水和圖形都相同，可以一次性打印完成：
墨水采用BASE-CP12，DPI：25um，打印預處理溫度為40℃。

微電子打印機制備壓力傳感器教程


第二層采用點膠方式制備，繪制圖形后需要進行點膠化處理：
墨水采用SENS-P300，點膠針頭直徑為160um，點膠間距為300um。

微電子打印機制備壓力傳感器教程


整體繪制圖形如下圖所示：


微電子打印機制備壓力傳感器教程



墨水參數(shù)設置


一層和第三層電極層采用墨水為BASE-CP12墨水，打印波形和參數(shù)選擇軟件默認的BASE-CP12墨水參數(shù)。后處理方式為140℃加熱20min。

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第二層介電層采用的墨水為：SENS-P300，采用160um直徑的點膠頭，點膠間距為300um。這種墨水的點膠參數(shù)如下圖所示。該層的后處理方式為70攝氏度退火3h，即點膠完這一層之后需要先退火后再進行后續(xù)操作。

微電子打印機制備壓力傳感器教程


在進行第二層介電層點膠前，需要先做點膠的異層對齊，保證點膠位置準確。（具體操作可以查看微電子打印機用戶手冊7.8手動版異層對齊功能）


實際制作樣品


微電子打印機制備壓力傳感器教程

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壓力傳感器性能


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