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真空泵 日本EBARA荏原 華南一級(jí)代理
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產(chǎn)品特點(diǎn)

• 干式無(wú)油技術(shù)：采用非接觸式密封技術(shù)，無(wú)需油或液體密封，避免了油和水的回流與擴(kuò)散，能實(shí)現(xiàn)清潔真空，滿足半導(dǎo)體、食品等對(duì)潔凈度要求嚴(yán)苛的行業(yè)需求。

• 高可靠性與廣泛真空度范圍：可適應(yīng)從大氣壓到高真空的范圍，真空度可達(dá) 10?12Torr，能滿足各種不同制程的需求，在半導(dǎo)體制造的刻蝕、離子注入等高真空工藝中表現(xiàn)穩(wěn)定。

• 高效節(jié)能：獨(dú)特的優(yōu)化轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)提高了壓縮效率，降低了功耗。部分型號(hào)還集成變頻調(diào)速系統(tǒng)，可根據(jù)負(fù)載動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)電機(jī)功率，能耗降低 20% 以上。

• 模塊化與擴(kuò)展性：支持多級(jí)串聯(lián)或并聯(lián)，抽速范圍覆蓋 10-1000m3/h，可適配不同真空需求。同時(shí)，采用快速拆卸設(shè)計(jì)，更換核心部件耗時(shí)可縮短至 2 小時(shí)內(nèi)，減少停機(jī)損失。

• 耐腐蝕性能：泵體采用陶瓷涂層、不銹鋼等全密封結(jié)構(gòu)，部分型號(hào)還可進(jìn)行鍍鎳或 PTFE 涂層等特殊防腐處理，能耐受 Cl?、H?S 等酸性氣體和有機(jī)溶劑的腐蝕，適用于化工、制藥等行業(yè)。

主要產(chǎn)品型號(hào)及參數(shù)

• EV-PA 型：是小型、輕量、節(jié)能的空冷干式真空泵，無(wú)需冷卻水，可使用單相 100V-240V 電源。以 EV-PA250 為例，排氣速度為 230L/min，到達(dá)底壓為 0.5Pa，重量?jī)H 16kg。

      ESA500W 型：采用變螺距螺桿設(shè)計(jì)，抽速范圍為 500-1000m3/h，極限真空可達(dá) 0.1Pa，排氣溫度控制在 60℃以下，背壓耐受能力達(dá) 0.3barg，適用于半導(dǎo)體、光伏等領(lǐng)域的大型腔室高速排氣。
      EV-X 型：適用于中等負(fù)荷工藝，配備荏原獨(dú)特的節(jié)能技術(shù)，采用模塊化設(shè)計(jì)，具有寬范圍溫度控制能力，可覆蓋多種工藝。其體積小巧，能耗低，且具備耐腐蝕性能。
      EV-M802N 型：極限壓力為 0.45Pa，具有高節(jié)能性能，標(biāo)配耐腐蝕材料，可處理高負(fù)載過程，適用于半導(dǎo)體、化工、制藥等多個(gè)行業(yè)。

應(yīng)用領(lǐng)域

• 半導(dǎo)體與電子行業(yè)：在晶圓制造的刻蝕、薄膜沉積、離子注入等工藝，以及芯片封裝測(cè)試環(huán)節(jié)廣泛應(yīng)用，為工藝提供穩(wěn)定的真空環(huán)境，確保產(chǎn)品質(zhì)量。

• 光伏行業(yè)：在太陽(yáng)能電池生產(chǎn)的 PECVD、擴(kuò)散爐等設(shè)備中，幫助抽取氣體，實(shí)現(xiàn)高效電池制造。

• 化工與制藥行業(yè)：用于溶劑回收、真空干燥、原料藥生產(chǎn)等工藝，既能避免腐蝕性氣體對(duì)泵體的損害，又能滿足醫(yī)藥行業(yè)的高潔凈要求。

• 食品與飲料行業(yè)：在真空包裝、濃縮與凍干等工藝中發(fā)揮作用，可避免油污污染食品，延長(zhǎng)食品保質(zhì)期。

• 科研與分析儀器：為質(zhì)譜儀、電子顯微鏡等提供高真空環(huán)境，確保儀器的準(zhǔn)確測(cè)量和成像質(zhì)量。