泰勒霍普森 PGI (Precision Geometric Instrument) 輪廓儀是英國(guó)泰勒霍普森公司 (Taylor Hobson) 開發(fā)的高精度表面測(cè)量設(shè)備,主要用于表面粗糙度、輪廓形狀、三維形貌和直徑測(cè)量,精度可達(dá)亞納米級(jí)(0.01nm)
核心技術(shù)與原理
PGI 技術(shù)全稱 "相位光柵干涉儀"(Phase Grating Interferometer),是泰勒霍普森的測(cè)量技術(shù),具有革命性優(yōu)勢(shì):
突破性測(cè)量能力:可使用短測(cè)針測(cè)量大垂度 (sag),實(shí)現(xiàn)高剛度與低測(cè)力結(jié)合,大幅提升測(cè)量精度和重復(fù)性
工作原理:通過光柵衍射產(chǎn)生的干涉條紋變化精確計(jì)算表面輪廓,將機(jī)械位移轉(zhuǎn)化為光學(xué)相位差進(jìn)行測(cè)量,垂直分辨率達(dá)0.01nm,測(cè)量線性度達(dá) **±0.1%**
Form Talysurf PGI NOVUS
雙向測(cè)量:獨(dú)特的NOVUS 傳感器在正向和反向以相同精度測(cè)量,一次完成上下表面測(cè)量
測(cè)量范圍:20mm 量程,分辨率 0.2nm,適用于軸承、噴油器、精密零件等多種工業(yè)應(yīng)用
軟件支持:搭載Metrology 4.0 智能軟件,提供虛擬顯示、智能移動(dòng)和變量編程功能,簡(jiǎn)化復(fù)雜測(cè)量
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