手動(dòng)臺(tái)階儀 JS10B
- 公司名稱 廣州領(lǐng)拓儀器科技有限公司
- 品牌 ZEPTOOLS/澤攸科技
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/4/24 15:37:23
- 訪問次數(shù) 242
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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 建材/家具,電子/電池,汽車及零部件,電氣,綜合 |
• 產(chǎn)品介紹：
澤攸科技JS系列臺(tái)階儀作為國產(chǎn)高精度表面測量設(shè)備的代表，憑借其創(chuàng)新的技術(shù)架構(gòu)、靈活的應(yīng)用場景及可靠的測量性能，可以對微納結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和臺(tái)階高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量，在高校、研究實(shí)驗(yàn)室和研究所、半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體、高亮度LED、太陽能、MEMS微機(jī)電、觸摸屏、汽車、醫(yī)療設(shè)備等行業(yè)領(lǐng)域有著廣泛應(yīng)用。
JS系列臺(tái)階儀通過金剛石探針與樣品表面的接觸掃描，將微觀輪廓的垂直位移轉(zhuǎn)化為電信號，結(jié)合高靈敏度傳感器與信號處理算法，實(shí)現(xiàn)納米級精度的表面特征捕捉。其核心技術(shù)亮點(diǎn)在于超微壓力恒定控制系統(tǒng)，通過精密調(diào)節(jié)探針與樣品間的接觸壓力，既避免了對軟質(zhì)材料的損傷，又確保了測量過程的穩(wěn)定性。此外，設(shè)備搭載的攝像頭實(shí)時(shí)成像系統(tǒng)，可同步觀察樣品區(qū)域與探針的位置關(guān)系，輔助用戶精確定位特征結(jié)構(gòu)，顯著提升測量效率。
作為國產(chǎn)科學(xué)儀器的突破性成果，JS系列臺(tái)階儀打破了國外品牌在表面測量設(shè)備領(lǐng)域的長期壟斷，憑借高性價(jià)比與本地化服務(wù)優(yōu)勢，成為國內(nèi)高校、科研機(jī)構(gòu)及制造企業(yè)的優(yōu)選設(shè)備。
• 特點(diǎn)：
量測精確、操作便捷、體積小巧、高性價(jià)比
• 應(yīng)用范圍：
▲ 刻蝕、沉積和薄膜等厚度測量
▲ 薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數(shù)測量
▲ 各式薄膜等應(yīng)力測量
• 系統(tǒng)組成
▲ 臺(tái)階儀主機(jī)
▲ 電腦及顯示器
• 選配品
▲ 隔振臺(tái)
▲ 高度校準(zhǔn)標(biāo)樣
• 技術(shù)參數(shù)
JS10B | |
樣品 | 單片（厚度≤10mm） |
樣品尺寸 | ≤150mm |
樣品材質(zhì) | 硅、鉭酸鋰、玻璃等（不透明，半透明） |
重復(fù)性測量偏差 | ≤0.5nm（1σ 1um標(biāo)準(zhǔn)塊重復(fù)掃描30次） |
最大測量范圍 | 80um |
垂直分辨率 | 0.05nm 滿量程 |
探針加力范圍 | 0.5~50mg |
力控制 | 恒定 |
采樣速度 | 200Hz |
掃描方向 | 左右雙向 |
掃描最大采集點(diǎn)數(shù) | 200萬點(diǎn) |
掃描速度 | 5um/s - 100um/s |
樣品臺(tái)運(yùn)動(dòng)方式 | 可實(shí)現(xiàn)水平（X/Y），旋轉(zhuǎn)（RZ），手動(dòng)控制 |
XY樣品臺(tái)行程 | 150mm（快慢速調(diào)節(jié)） |
Z樣品臺(tái)行程 | 10mm |
樣品旋轉(zhuǎn)臺(tái) | ±360° |
標(biāo)準(zhǔn)探針 | 曲率半徑≥2um 角度60°（標(biāo)配） |
亞微米探 | 曲率半徑≤1um 角度60°（選配） |
軟件功能 | 臺(tái)階、粗糙度等表面形貌測量，應(yīng)力測量 |
• 軟件界面
• 掃描圖
18nm樣品
68um樣品
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