化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>干法工藝設(shè)備>等離子體刻蝕設(shè)備>Vision 410 等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)系統(tǒng)
Vision 410 等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)系統(tǒng)
- 公司名稱 岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 Vision 410
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2025/9/4 15:35:24
- 訪問次數(shù) 463
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1.靈活的沉積能力
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基于硅的沉積工藝-氧化物、氮化物、氧氮化物、非晶硅(a-Si)、碳化硅(SiC)
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研究與開發(fā)
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原型制作
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小批量生產(chǎn)-光子學(xué)、固態(tài)照明、MEMS和納米技術(shù)
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應(yīng)用領(lǐng)域:層間絕緣層、鈍化層、封裝層、掩模層、抗反射層
2.性能價值
1.大尺寸手動裝載載物臺(406mm)
2.出色的潔凈度
3.高均勻性
4.高吞吐量 
5.可靠的軟件
6.小巧的占地面積
7.具有成本效益
8.易于維護(hù)
9.采用行業(yè)頭部組件
3.經(jīng)過驗(yàn)證的解決方案
·延續(xù)了PTI 790/790+的設(shè)計(jì)理念
o手動裝載,無需負(fù)載鎖(可支持批次或單片晶圓)
o已安裝超過400套系統(tǒng)
o技術(shù)簡單,結(jié)構(gòu)堅(jiān)固 價格具有競爭力,品質(zhì)可靠






小巧的占地面積,節(jié)省空間




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