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Vision 310 等離子體增強化學(xué)氣相沉積(PECVD)系統(tǒng)

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岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司(Dymek Company Ltd ,下面簡稱岱美)成立于1989年,是一間擁有多年經(jīng)驗的高科技設(shè)備分銷商,主要為數(shù)據(jù)存儲、半導(dǎo)體、光通訊、高校及研發(fā)中心提供各類測量設(shè)備、工序設(shè)備以及相應(yīng)的技術(shù)支持,并與一些重要的客戶建立了長期合作的關(guān)系。自1989年創(chuàng)立至今,岱美的產(chǎn)品以及各類服務(wù)、解決方案廣泛地運用于中國香港,中國大陸(上海、東莞、北京),中國臺灣,泰國,菲律賓,馬來西亞,越南及新加坡等地區(qū)。


岱美在中國大陸地區(qū)主要銷售或提供技術(shù)支持的產(chǎn)品:

晶圓鍵合機、納米壓印設(shè)備、紫外光刻機、涂膠顯影機、硅片清洗機、超薄晶圓處理設(shè)備、光學(xué)三維輪廓儀、硅穿孔TSV量測、非接觸式光學(xué)三坐標測量儀、薄膜厚度檢測儀、主動及被動式防震臺系統(tǒng)、應(yīng)力檢測儀、電容式位移傳感器、定心儀等。


岱美重要合作伙伴包括有:

Thetametrisis, EVG, FSM, Opto-Alignment, Herz, PLSINTEC, Film Sense, Reditech, Lazin, Delcom, Microsense, Shb, boffotto, RTEC, Kosaka, Nanotronics, MTInc, 4D, Daeil, Microphysics,

n&k Technology, First Nano, Schmitt, LESCO, Otsuka, STI, Kurashiki, Ryokosha, SURAGUS, Westbond...


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膜厚儀,輪廓儀,EVG鍵合機,EVG光刻機,HERZ隔震臺,Microsense電容式位移傳感器

1.靈活的沉積能力

·等離子體增強化學(xué)氣相沉積(PECVD)系統(tǒng)基于硅的沉積工藝-氧化物、氮化物、氧氮化物、非晶硅(a-Si)、碳化硅(SiC

·等離子體增強化學(xué)氣相沉積(PECVD)系統(tǒng)研究與開發(fā)

·等離子體增強化學(xué)氣相沉積(PECVD)系統(tǒng)原型制作

·等離子體增強化學(xué)氣相沉積(PECVD)系統(tǒng)小批量生產(chǎn)-光子學(xué)、固態(tài)照明MEMS和納米技術(shù)

·等離子體增強化學(xué)氣相沉積(PECVD)系統(tǒng)應(yīng)用領(lǐng)域:層間絕緣層、鈍化層、封裝層、掩模層、抗反射層


2.性能價值

等離子體增強化學(xué)氣相沉積(PECVD)系統(tǒng)1.大尺寸手動裝載載物臺(406mm)

2.出色的潔凈度

3.高均勻性

4.高吞吐量 等離子體增強化學(xué)氣相沉積(PECVD)系統(tǒng)

5.可靠的軟件

6.小巧的占地面積

7.具有成本效益

8.易于維護

9.采用行業(yè)頭部組件


3.經(jīng)過驗證的解決方案

·廣泛的“交鑰匙”工藝

·通過優(yōu)化的噴淋頭實現(xiàn)高薄膜均勻性

·高標準的利用率和可靠性--采用一級(Tier Ⅰ)OEM組件、快速抽真空、可選原位終點檢測,避免過度清洗

·享有認可的服務(wù)與支持

·通過低頻或氦氣稀釋實現(xiàn)應(yīng)力控制


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