Accurion RSE 參考光譜橢偏儀薄膜和表面的快速檢測(cè)
- 公司名稱 上海茂默科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 Park
- 型號(hào) Accurion RSE
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/11/26 17:05:24
- 訪問(wèn)次數(shù) 37
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 80萬(wàn)-100萬(wàn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子/電池,綜合 |
Accurion RSE光譜型參比橢偏儀
光譜型參比橢偏儀(RSE), 設(shè)計(jì)用于質(zhì)量控制中的高速厚度mapping。它可以精準(zhǔn)測(cè)量0.1 nm至10µm的厚度。每秒記錄200個(gè)完整的光譜,可以在12分鐘內(nèi)研究100mmx 100mm的區(qū)域,并同時(shí)獲得67000個(gè)光譜。
RSE是一種特殊類型的橢偏儀,它通過(guò)將參考樣品和被測(cè)樣品進(jìn)行比較,測(cè)量它們之間的差異從而對(duì)被測(cè)樣品進(jìn)行橢偏分析。在測(cè)量過(guò)程中沒(méi)有任何需要轉(zhuǎn)動(dòng)或者調(diào)制的光學(xué)部件,并且可以在單次測(cè)量中獲得完整的、高分辨率的光譜橢偏數(shù)據(jù)。通??擅棵氩杉?00個(gè)光譜橢偏數(shù)據(jù)。通過(guò)配備同步的X/Y二維自動(dòng)樣品臺(tái)可以在數(shù)分鐘內(nèi)測(cè)量獲得大面積樣品的薄膜厚度分布圖。 由于參考補(bǔ)償系統(tǒng)仍然是橢偏儀原理,因此需要將測(cè)量數(shù)據(jù)擬合到光學(xué)模型,以獲得光學(xué)參數(shù),如折射率和薄膜厚度。為了實(shí)現(xiàn)高速的數(shù)據(jù)處理速度,實(shí)現(xiàn)了查找表擬合。在測(cè)量之前,將計(jì)算一個(gè)查找表。然后可以實(shí)時(shí)且高分辨率地?cái)M合測(cè)量數(shù)據(jù)。
主要功能:
“單次”參比光譜橢偏測(cè)量
每秒200個(gè)全光譜橢偏數(shù)據(jù)
用于評(píng)估薄膜厚度的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)處理
光斑尺寸:50 x 100um(入射角=60°)的微光斑
薄膜厚度測(cè)量范圍:<1nm~10um
光譜范圍:450–900 nm
應(yīng)用:
晶圓檢測(cè)
污染物檢測(cè)
超薄膜和中間層的厚度
透明基板上的薄層



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