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Accurion RSE 參考光譜橢偏儀薄膜和表面的快速檢測(cè)

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AccurionRSEPark橢偏儀測(cè)量

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上海茂默科學(xué)儀器有限公司——不止專業(yè)。

茂默科學(xué)以客戶為本、合作共贏的理念,致力于幫忙客戶提供整體實(shí)驗(yàn)方案。力求解決行業(yè)內(nèi)客戶對(duì)科學(xué)儀器選型難、維護(hù)難的處境。通過(guò)不斷優(yōu)化公司運(yùn)作和提升服務(wù)質(zhì)量,目前已贏得業(yè)內(nèi)人士和廣大客戶廣泛認(rèn)可,擁有廣泛而穩(wěn)固的合作伙伴和客戶群體。


我們的業(yè)務(wù):分析儀器選型、環(huán)境檢測(cè)設(shè)備推薦、實(shí)驗(yàn)室整體打包方案制定;
企業(yè)使命:科技推動(dòng)進(jìn)步,商業(yè)促進(jìn)創(chuàng)新;
企業(yè)愿景:成為科研人員重要合作商
;
企業(yè)價(jià)值觀:“誠(chéng)信、敬業(yè)、感恩、自強(qiáng)”;
基石:客戶為本、合作共贏;


我們的優(yōu)勢(shì):
● 專業(yè)服務(wù)團(tuán)隊(duì),短時(shí)間內(nèi)可提供專業(yè)設(shè)備選型方案
● 長(zhǎng)期合作品牌性價(jià)比高、貨期、售后、價(jià)格一站式服務(wù),無(wú)需更多環(huán)節(jié)
● 高效反饋、靈活高效、敬業(yè)可靠
合作品牌:美國(guó)HACH、德國(guó)YSI、德國(guó)Wiggens、美國(guó)Cole-Pamer、德國(guó)Kirsch、德國(guó)Nacht、德國(guó)Fevik、北京格瑞德曼、青島澳柯瑪、南京易普易達(dá)、上海龍躍、湖南恒諾等國(guó)內(nèi)外廠家。


茂默科學(xué)已服務(wù)于:

      *上海藥物研究所

      *高等研究院

      *有機(jī)研究所

      上海市環(huán)境檢測(cè)中心

      上?;ぱ芯吭河邢薰?/span>

      上海市水產(chǎn)研究院

      上海復(fù)旦大學(xué)化工學(xué)院

      上海交通大學(xué)環(huán)境科學(xué)與工程學(xué)院

      華東理工大學(xué)分析中心

      華東師范大學(xué)資源管理學(xué)院

      波士膠管理有限公司

      阿科瑪(中國(guó))投資有限公司

      蘭州科天水性材料有限公司

      ……

      …

       .





澳柯瑪、哈希、移液工作站、防爆冰箱、色差儀、蠕動(dòng)泵、主動(dòng)隔振臺(tái)

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價(jià)格區(qū)間 80萬(wàn)-100萬(wàn)
應(yīng)用領(lǐng)域 化工,能源,電子/電池,綜合

Accurion RSE光譜型參比橢偏儀

光譜型參比橢偏儀(RSE), 設(shè)計(jì)用于質(zhì)量控制中的高速厚度mapping。它可以精準(zhǔn)測(cè)量0.1 nm至10µm的厚度。每秒記錄200個(gè)完整的光譜,可以在12分鐘內(nèi)研究100mmx 100mm的區(qū)域,并同時(shí)獲得67000個(gè)光譜。


RSE是一種特殊類型的橢偏儀,它通過(guò)將參考樣品和被測(cè)樣品進(jìn)行比較,測(cè)量它們之間的差異從而對(duì)被測(cè)樣品進(jìn)行橢偏分析。在測(cè)量過(guò)程中沒(méi)有任何需要轉(zhuǎn)動(dòng)或者調(diào)制的光學(xué)部件,并且可以在單次測(cè)量中獲得完整的、高分辨率的光譜橢偏數(shù)據(jù)。通??擅棵氩杉?00個(gè)光譜橢偏數(shù)據(jù)。通過(guò)配備同步的X/Y二維自動(dòng)樣品臺(tái)可以在數(shù)分鐘內(nèi)測(cè)量獲得大面積樣品的薄膜厚度分布圖。 由于參考補(bǔ)償系統(tǒng)仍然是橢偏儀原理,因此需要將測(cè)量數(shù)據(jù)擬合到光學(xué)模型,以獲得光學(xué)參數(shù),如折射率和薄膜厚度。為了實(shí)現(xiàn)高速的數(shù)據(jù)處理速度,實(shí)現(xiàn)了查找表擬合。在測(cè)量之前,將計(jì)算一個(gè)查找表。然后可以實(shí)時(shí)且高分辨率地?cái)M合測(cè)量數(shù)據(jù)。


主要功能:

  • “單次”參比光譜橢偏測(cè)量

  • 每秒200個(gè)全光譜橢偏數(shù)據(jù)

  • 用于評(píng)估薄膜厚度的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)處理

  • 光斑尺寸:50 x 100um(入射角=60°)的微光斑

  • 薄膜厚度測(cè)量范圍:<1nm~10um

  • 光譜范圍:450–900 nm


應(yīng)用:

  • 晶圓檢測(cè)

  • 污染物檢測(cè)

  • 超薄膜和中間層的厚度

  • 透明基板上的薄層





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