NS-Micro系列 (顯微鏡集成式膜厚儀)
- 公司名稱 蘇州悉識(shí)科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2026/1/23 18:27:45
- 訪問次數(shù) 98
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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,石油 |
NS-Micro系列是顯微鏡集成式膜厚測(cè)量分析系統(tǒng)。NS-Micro系列 (顯微鏡集成式膜厚儀)在標(biāo)準(zhǔn)顯微鏡基礎(chǔ)上疊加光譜測(cè)量模塊，能夠?qū)y(cè)量光斑精準(zhǔn)聚焦至1微米區(qū)域，并實(shí)時(shí)顯示測(cè)量點(diǎn)位彩色圖像。 NS-Micro系列 (顯微鏡集成式膜厚儀)適用于微小區(qū)域膜厚測(cè)量或?qū)嶒?yàn)室研發(fā)場(chǎng)景等。
NS-Micro 特色
·超強(qiáng)測(cè)量信號(hào)，讓微小區(qū)域膜厚測(cè)量不再困難
·高精度手動(dòng)位移滑臺(tái)，精準(zhǔn)測(cè)量樣品微小區(qū)域
·集成彩色攝像機(jī)，實(shí)時(shí)監(jiān)控測(cè)量點(diǎn)位
·測(cè)量光斑可選范圍 1-100 μm
NS-Micro系列 參數(shù)規(guī)格
厚度測(cè)量范圍
| 型號(hào) | NS-MicroUV | NS-Micro | NS-MicroUVX | NS-MicroEXR |
| 波長范圍 | 190 – 1000 nm | 380 – 1100 nm | 190 – 1700 nm | 380 – 1700 nm |
| 5X物鏡測(cè)量范圍1 | - | 15 nm – 75 μm | - | - |
| 10X物鏡測(cè)量范圍 | 15 nm – 16 μm | |||
| 15X物鏡測(cè)量范圍 | 1 nm – 30 um | 15 nm – 100 um | 1 nm – 100 um | 15 nm – 100 um |
| 20X物鏡測(cè)量范圍1 | - | 15 nm – 6 μm | - | - |
| 50X物鏡測(cè)量范圍1 | - | 15 nm – 2 μm | - | - |
| 100X物鏡測(cè)量范圍1 | - | 15 nm – 1 μm | - | - |
| 準(zhǔn)確度2 | 1 nm 或 0.2% | 2 nm 或 0.2% | 1 nm 或 0.2% | 2 nm 或 0.2% |
| 精度3 | 0.02 nm | |||
| 穩(wěn)定性4 | 0.05 nm | |||
| 測(cè)量速度 | < 1s（單次靜態(tài)測(cè)量） | |||
| 光源 | 氘燈＋鹵鎢燈 | 鹵鎢燈 | 氘燈＋鹵鎢燈 | 鹵鎢燈 |
| 樣品尺寸 | 直徑從1mm 到 300mm或更大 | |||
| 接口要求 | |
| 電源 | 110-240VAC, 50–60 Hz,20 W |
| 數(shù)據(jù)接口 | USB |
| 電腦配置 | |
| 操作系統(tǒng) | Windows 11 |
| 電腦硬件 | 主機(jī)，顯示器，鍵鼠 |
| 光斑尺寸 | 500μm 孔徑 | 250μm 孔徑 | 100μm 孔徑 |
| 5X物鏡 | 100 μm | 50 μm | 20 μm |
| 10X物鏡 | 50 μm | 25 μm | 10 μm |
| 15X物鏡 | 33 μm | 17 μm | 7 μm |
| 50X物鏡 | 10 μm | 5 μm | 2 μm |
| 100X物鏡 | 5 μm | 2.5 μm | 1 μm |
取決于具體材料
2 Si/SiO2(500~1000nm)標(biāo)樣片
3 計(jì)算100次測(cè)量500nm SiO2標(biāo)準(zhǔn)片的1倍標(biāo)準(zhǔn)偏差，對(duì)20個(gè)有效測(cè)量日的1倍標(biāo)準(zhǔn)偏差取平均
4 計(jì)算100次測(cè)量500nm SiO2標(biāo)準(zhǔn)片的平均值，對(duì)20個(gè)有效測(cè)量日的平均值做2倍標(biāo)準(zhǔn)偏差
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