SuperViewW 光學(xué)顯微形貌輪廓儀，可精準(zhǔn)測量從超光滑至粗糙、低反射率至高反射率的各類物體表面，實(shí)現(xiàn)納米至微米級工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓及曲率等參數(shù)檢測。該設(shè)備具備測量精度高、操作簡便、功能全面、測量參數(shù)覆蓋廣等優(yōu)勢，單顆精密器件檢測耗時短，可保障高效檢測。依托白光干涉儀專用光源模式，SuperViewW 廣泛適配從光滑到粗糙等多種精密器件表面的測量需求。

SuperViewW 光學(xué)顯微形貌輪廓儀儀器特征：

1、白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。

2、針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時滿足的高精度、大掃描范圍的需求，中圖儀器SuperView W1的復(fù)合型EPSI重建算法，解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點(diǎn)。在自動拼接模塊下，只需要確定起點(diǎn)和終點(diǎn)，即可自動掃描，重建其超光滑的表面區(qū)域，不見一絲重疊縫隙。

 

SuperViewW 光學(xué)顯微形貌輪廓儀 產(chǎn)品功能

1.樣件測量能力：單一掃描模式即可覆蓋超光滑至粗糙、鏡面至全透明 / 黑色材質(zhì)等各類表面的測量需求。
2.單區(qū)域自動測量：單片平面樣品或批量樣品切換測點(diǎn)時，可一鍵完成自動條紋搜索、掃描等操作。
3.多區(qū)域自動測量：支持設(shè)置方形、圓形陣列式多區(qū)域測點(diǎn)，一鍵自動執(zhí)行條紋搜索、掃描等流程。
4.自動拼接測量：支持方形、圓形、環(huán)形、螺旋式自動拼接測量；搭配影像導(dǎo)航，可自定義測量區(qū)域，實(shí)現(xiàn)數(shù)千張圖像無縫拼接。
5.編程測量功能：測量與分析同界面操作，可預(yù)設(shè)數(shù)據(jù)處理與分析步驟，結(jié)合自動測量實(shí)現(xiàn)一鍵檢測。
6.數(shù)據(jù)處理功能：提供位置調(diào)整、去噪、濾波、提取四大處理模塊。
7.數(shù)據(jù)分析功能：支持粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析五大分析能力。
8.批量分析功能：可按需求定制處理與分析模板，對同類參數(shù)實(shí)現(xiàn)一鍵批量分析。
9.數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出：支持導(dǎo)出 Word、Excel、PDF 格式報表，可輸出圖像與數(shù)值結(jié)果。
10.故障排查功能：內(nèi)置診斷模塊，可保存掃描過程中的干涉條紋圖像。
11.便捷操作功能：配備操縱桿，支持全軸位置控制、速度調(diào)節(jié)、光源亮度調(diào)節(jié)及急停操作。
12.環(huán)境噪聲評價：具備 0.1nm 分辨率環(huán)境噪聲評估功能，可定量檢測外界干擾的振幅與頻率，為設(shè)備調(diào)試與故障排查提供依據(jù)。
13.氣浮隔振功能：采用氣浮隔振底座，有效隔離地面振動噪聲，保障測量高精度。
14.光源安全功能：支持無人值守自動熄燈，長時間無操作時自動降亮或熄滅，避免過熱損壞，延長光源壽命。
15.鏡頭安全功能：雙重防撞保護(hù) —— 軟件 ZSTOP 限位報警，硬件配備壓力傳感器與彈簧緩沖結(jié)構(gòu)，碰撞時彈性回縮并急停，大幅降低沖擊，保護(hù)鏡頭與掃描軸，規(guī)避人為操作風(fēng)險。

 

自研3D顯微測量軟件平臺Xtremevision Pro

全自主開發(fā)的第二代顯微3D測量軟件平臺，集成了圖像掃描、3D分析、影像測量、自動化測量等四個大的功能模塊，能夠適配中圖W系列、VT系列、WT系列所有3D儀器機(jī)型，可自主識別機(jī)型種類，二合一機(jī)型可在白光干涉和共聚焦顯微鏡中做到自動切換掃描模式。

Xtremevision Pro 移植了中圖在影像閃測領(lǐng)域的成功經(jīng)驗，重構(gòu)了顯微影像測量功能，可針對微觀平面輪廓尺寸的點(diǎn)、線間的距離、角度、半徑等參數(shù)進(jìn)行直接測量和自動匹配測量。

 

自動化mark點(diǎn)識別坐標(biāo)定位自動化功能

Mark點(diǎn)影像識別自動坐標(biāo)位置校正，多區(qū)域坐標(biāo)點(diǎn)自動定位測量與分析，可組合式完成粗糙度、輪廓尺寸的批量自動化測量。

 

自動拼接功能

支持方形、圓形、環(huán)形和螺旋形式的自動拼接測量功能，配合影像導(dǎo)航功能，可自定義測量區(qū)域，支持?jǐn)?shù)千張圖像的無縫拼接測量。

 

應(yīng)用領(lǐng)域圖片

SuperViewW光學(xué)顯微形貌輪廓儀對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

 

部分技術(shù)指標(biāo)

溫馨提示：因市場發(fā)展與產(chǎn)品研發(fā)需要，本產(chǎn)品資料相關(guān)內(nèi)容可能隨實(shí)際情況隨時更新修訂，恕不另行通知，敬請諒解。
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