SuperViewW臺(tái)式光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x依托白光干涉原理，采用3D非接觸式測(cè)量模式，可精準(zhǔn)測(cè)量并分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)與尺寸，核心測(cè)量結(jié)果涵蓋以下兩大類：
1、表面形貌參數(shù)：包含粗糙度、平面度、平行度、臺(tái)階高度、錐角等多項(xiàng)指標(biāo)；
2、幾何特征參數(shù)：涵蓋關(guān)鍵孔徑尺寸、曲率半徑、特征區(qū)域面積與體積、特征圖形位置及數(shù)量等核心數(shù)據(jù)。

SuperViewW臺(tái)式光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x產(chǎn)品特點(diǎn)

SuperViewW臺(tái)式光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x集多項(xiàng)核心技術(shù)與人性化設(shè)計(jì)于一身，兼顧測(cè)量精度、操作便捷性與設(shè)備穩(wěn)定性，適配多場(chǎng)景、多類型樣品的高精度輪廓檢測(cè)需求，滿足超精密測(cè)量工況。核心產(chǎn)品特點(diǎn)如下：
1、多倍率干涉物鏡
配備多種不同倍率的干涉物鏡，可靈活適配各類樣品表面檢測(cè)，無(wú)論是超光滑表面，還是具備不同粗糙度的常規(guī)表面，均能實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)適配，覆蓋多元化樣品測(cè)量需求，保障不同工況下的測(cè)量適配性。
2、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)
搭載雙通道氣浮隔振系統(tǒng)，可通過(guò)外接氣源與加壓裝置直接充氣運(yùn)行，能高效阻隔地面?zhèn)鲗?dǎo)而來(lái)的各類振動(dòng)噪聲，從源頭規(guī)避地面振動(dòng)對(duì)測(cè)量精度的干擾，為高精度測(cè)量筑牢穩(wěn)定基礎(chǔ)。
3、聲波隔振防護(hù)設(shè)計(jì)
采用儀器外殼與內(nèi)部運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)分離式設(shè)計(jì)，切斷聲波振動(dòng)的傳導(dǎo)路徑，有效隔離外界聲波振動(dòng)對(duì)內(nèi)部精密測(cè)量組件的影響，進(jìn)一步強(qiáng)化設(shè)備的抗干擾能力，保障測(cè)量過(guò)程穩(wěn)定無(wú)偏差。
4、精準(zhǔn)水平調(diào)整裝置
配備專用傾斜調(diào)整旋鈕，可靈活調(diào)節(jié)條紋寬度，優(yōu)化測(cè)量成像效果，大幅提升3D圖像的重建精度，助力獲取更清晰、精準(zhǔn)的三維輪廓數(shù)據(jù)，貼合高精度檢測(cè)的嚴(yán)苛要求。
5、人體工學(xué)便攜式操縱桿
采用貼合人體工程學(xué)的便攜式操縱桿設(shè)計(jì)，操控舒適省力；集成XYZ三軸位移、三軸速度以及光源亮度的自動(dòng)控制功能，操作便捷高效，同時(shí)配備緊急停止按鈕，可快速應(yīng)對(duì)突發(fā)情況，保障設(shè)備與樣品安全。
6、半導(dǎo)體專用真空吸附臺(tái)
專為半導(dǎo)體晶圓片量身定制真空吸附臺(tái)，能牢牢固定待測(cè)樣品，避免測(cè)量過(guò)程中空氣中微弱氣流對(duì)樣品位置的擾動(dòng)，杜絕樣品移位問(wèn)題，保障測(cè)量數(shù)據(jù)的穩(wěn)定性與精準(zhǔn)度。
7、高精度3D重建算法
搭載自研高性能3D重建算法，可自動(dòng)濾除樣品表面各類噪點(diǎn)，優(yōu)化測(cè)量數(shù)據(jù)質(zhì)量；搭配高性能硬件系統(tǒng)協(xié)同發(fā)力，實(shí)現(xiàn)測(cè)量精度，整體測(cè)量精度可達(dá)亞納米級(jí)別，滿足超精密輪廓測(cè)量的頂級(jí)需求。

 

自研3D顯微測(cè)量軟件平臺(tái)Xtremevision Pro

Xtremevision Pro

全自主開(kāi)發(fā)的第二代顯微3D測(cè)量軟件平臺(tái)，集成了圖像掃描、3D分析、影像測(cè)量、自動(dòng)化測(cè)量等四個(gè)大的功能模塊，能夠適配中圖W系列、VT系列、WT系列所有3D儀器機(jī)型，可自主識(shí)別機(jī)型種類，二合一機(jī)型可在白光干涉和共聚焦顯微鏡中做到自動(dòng)切換掃描模式。

Xtremevision Pro 移植了中圖在影像閃測(cè)領(lǐng)域的成功經(jīng)驗(yàn)，重構(gòu)了顯微影像測(cè)量功能，可針對(duì)微觀平面輪廓尺寸的點(diǎn)、線間的距離、角度、半徑等參數(shù)進(jìn)行直接測(cè)量和自動(dòng)匹配測(cè)量。

 

自動(dòng)化mark點(diǎn)識(shí)別坐標(biāo)定位自動(dòng)化功能

Mark點(diǎn)影像識(shí)別自動(dòng)坐標(biāo)位置校正，多區(qū)域坐標(biāo)點(diǎn)自動(dòng)定位測(cè)量與分析，可組合式完成粗糙度、輪廓尺寸的批量自動(dòng)化測(cè)量。

 

自動(dòng)拼接功能

支持方形、圓形、環(huán)形和螺旋形式的自動(dòng)拼接測(cè)量功能，配合影像導(dǎo)航功能，可自定義測(cè)量區(qū)域，支持?jǐn)?shù)千張圖像的無(wú)縫拼接測(cè)量。

 

應(yīng)用領(lǐng)域圖片

SuperViewW臺(tái)式光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x可對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

 

部分技術(shù)指標(biāo)

溫馨提示：因市場(chǎng)發(fā)展及產(chǎn)品研發(fā)需要，本產(chǎn)品資料相關(guān)內(nèi)容可能根據(jù)實(shí)際情況適時(shí)更新與修訂，恕不另行通知，敬請(qǐng)諒解。如有疑問(wèn)或需了解更多詳情，歡迎隨時(shí)咨詢中圖儀器。