光電測試探針臺是專業(yè)為8英寸和12英寸晶圓光電流測試設計的專業(yè)半自動變溫光電探針臺,可滿足8英寸和12英寸晶圓變溫光電測試需要,測試溫度范圍-60~350℃,特別適合高溫和低溫環(huán)境下晶圓變溫測試和射頻測試,可以實現(xiàn)自動晶圓對準和自動芯片對準。
光電測試探針臺特點
可選擇6'',8''晶圓和12''晶圓配置
測試溫度：-60℃~350℃
適合高功率器件測試20kV DC/200A
可選擇芯片固定配件
可配備護罩，防止露水凝結
可配備屏蔽罩，提供較低噪音環(huán)境
配備專用測試軟件，提高晶圓測試效率
采用圖像識別技術，可以實現(xiàn)自動晶圓對準和自動芯片對準

光電測試探針臺應用
Low level IV (fA)和Low level CV (fF)
高功率器件探針測試：20KV DC/200A
RF射頻測試
高功率器件測試20kV DC/200A
各種電阻測量，如sheet電阻測量
高溫和低溫環(huán)境下的溫度特性測試
可靠性測試，如TDDB
光電測試探針臺可選配件
Thermal chuck from -60℃~+350°C
355nm~1064nm激光切割機
各種光源
三目顯微鏡（標配體視顯微鏡）
CCD相機
Probe card (4.5 inch square PCB)
光電測試探針臺可連接配合的測試儀器
設備分析儀/參數(shù)分析儀
功率器件分析儀
源度量單位
曲線跟蹤器
精密LCR儀表
數(shù)字萬用表
阻抗分析儀
網(wǎng)絡分析器
光電測試探針臺規(guī)格參數(shù)