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Nanoscribe發(fā)布全新工業(yè)級高精度無掩膜光刻系統(tǒng)

閱讀:6762      發(fā)布時間:2021-11-11
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全新Quantum X shape:
重新定義高精度,高產(chǎn)量,體驗感

 

全新Quantum X shape系統(tǒng)作為Nanoscribe工業(yè)級無掩膜光刻系統(tǒng)Quantum X平臺產(chǎn)品系列的第二臺設(shè)備,可實現(xiàn)在25 cm²面積內(nèi)打印任何結(jié)構(gòu),大大推動了生命科學(xué),微流體,材料工程學(xué)中復(fù)雜應(yīng)用的快速原型制作。Quantum X shape作為具備光敏樹脂自動分配功能的直立式打印系統(tǒng),非常適合標準6英寸晶圓片工業(yè)批量加工制造。

 

作為Nanoscribe推出的全新高精度3D打印系統(tǒng),Quantum X shape用于快速原型制作和晶圓級批量生產(chǎn),以充分挖掘3D微納加工在科研和工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域的潛力。該系統(tǒng)是基于雙光子聚合技術(shù)(2PP)的專業(yè)激光直寫系統(tǒng),可為亞微米精度的2.5D和3D物體的微納加工提供*的設(shè)計自由度。Quantum X shape可實現(xiàn)在6英寸的晶圓片上進行高精度3D微納加工。這種效率的提升對于晶圓級批量生產(chǎn)尤其重要,這對于科研和工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域應(yīng)用有著重大意義??偠灾?,該系統(tǒng)拓寬了3D微納加工在多個科研領(lǐng)域和工業(yè)行業(yè)應(yīng)用的更多可能性(如生命科學(xué)、材料工程、微流體、微納光學(xué)、微機械和微電子機械系統(tǒng)(MEMS)等)。

 

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實現(xiàn)最高精度制作3D微納加工技術(shù)

雙光子聚合(2PP)是一種可實現(xiàn)最高精度和*設(shè)計自由度的增材制造方法。而作為同類最佳的3D微加工系統(tǒng)Quantum X shape具有下列優(yōu)異性能:

  • * 在所有空間方向上低至 100 納米的特征尺寸控制,適用于納米和微米級打印

  • * 制作高達 50 毫米的目標結(jié)構(gòu),適用于中尺度打印

 

 

優(yōu)化平衡精度和速度以提高產(chǎn)量

高速3D微納加工系統(tǒng)Quantum X shape可實現(xiàn)優(yōu)異形狀精度和高精度制作。這種高質(zhì)量的打印效果是結(jié)合了高科技振鏡系統(tǒng)和智能電子系統(tǒng)控制單元的結(jié)果,同時還離不開工業(yè)級飛秒脈沖激光器以及平穩(wěn)堅固的花崗巖操作平臺。Quantum X  shape具有激光焦點軌跡控制,可操控振鏡加速和減速至最佳掃描速度,并以 1 MHz 調(diào)制速率動態(tài)調(diào)整激光功率。

Quantum X shape 帶有*的自動界面查找功能,可以以低至 30 納米的精度檢測基板表面。這種在最高掃描速度下的納米級精度體現(xiàn),再加上自校準程序,可在最短的時間內(nèi)實現(xiàn)可靠和準確的打印,為 3D 微納加工樹立了新。這些優(yōu)異的性能使Quantum X shape 成為快速原型制作和應(yīng)用于微納光學(xué)

 

 

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使用Nanoscribe微納加工技術(shù)制作的3D微針,輕松實現(xiàn)具有高縱橫比,形狀精度和鋒利邊緣的不同設(shè)計變化。

 

簡單高效的工作流程以實現(xiàn)最佳體驗感

光敏樹脂的自動分配功能對于晶圓級加工和小批量生產(chǎn)的工業(yè)制造十分重要。用戶還可以通過設(shè)備的集成觸控屏直接或遠程訪問Quantum X shape打印系統(tǒng)來控制打印作業(yè)。通過遠程訪問軟件nanoConnectX ,用戶可以看到觸控屏的顯示選項并操控所有功能,實現(xiàn)從任何地方啟動、監(jiān)控和控制連接打印系統(tǒng)的打印作業(yè)進程。這使得整個小組成員(例如研究小組貨部門所有成員)均可在個人電腦訪問打印系統(tǒng)。實現(xiàn)了盡可能限度減少實驗室準備時間,簡化并提高整個制備、執(zhí)行和監(jiān)控打印作業(yè)效率,并在共享系統(tǒng)時大大提升團隊協(xié)作。

 

 

3D微納加工新勢力助力未來科技

Quantum X shape作為理想的快速成型制作工具,可實現(xiàn)通過簡單工作流程進行最高精度和高設(shè)計自由度的制作。作為2019年推出的第一臺雙光子灰度光刻 (2GL ®) 系統(tǒng)Quantum X的同系列產(chǎn)品,Quantum X shape提升了3D微納加工能力,即做到大限度平衡精度和速度以實現(xiàn)高精度增材制造,以達到高水平的生產(chǎn)力和打印質(zhì)量。總而言之,工業(yè)級Quantum X 打印系統(tǒng)系列提供了從納米到中觀尺寸結(jié)構(gòu)的微制造工藝,適用于晶圓級批量加工。

 

 

 

 

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德國Nanoscribe 超高精度雙光子微納加工系統(tǒng):

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                                              Quantum X shape                  雙光子無掩膜光刻系統(tǒng)

 

 

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