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當(dāng)前位置：深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司>>半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備>>3 CVD>> PlasmaPro 100 Nano等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積
| 參 考 價(jià): | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)PlasmaPro 100 Nano
品牌OXFORD/英國(guó)牛津
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所在地深圳市
更新時(shí)間：2025-06-05 17:20:43瀏覽次數(shù)：523次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 化工儀器網(wǎng)更佳的均勻性以及靈活的溫度范圍， 最高可達(dá)1200°C
700°C、800°C或1200°C工作臺(tái)可供選擇
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冷壁設(shè)計(jì)并輔以可均勻輸送氣體/液體源前驅(qū)體的噴頭
可選的液體/固體源前驅(qū)體輸送系統(tǒng)，用于生長(zhǎng)MOS2、MOSe2和其它TMDCs材料
應(yīng)用：
二維材料 生長(zhǎng)
MoS2 生長(zhǎng)
石墨烯 生長(zhǎng)
一維材料 生長(zhǎng)
碳納米管（CNT）生長(zhǎng)
氣柜 —— 包含額外的氣體管線，提供更大的靈活性
渦輪分子真空泵 —— 提供泵送速度加快氣體的流動(dòng)速度
光學(xué)終點(diǎn)探測(cè)—— 實(shí)現(xiàn)更好工藝結(jié)果的重要工具
TEOS液位傳感 —— 使用安裝在TEOS罐上的超聲波液位傳感器實(shí)現(xiàn)液位傳感
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