您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)！ 登錄| 免費(fèi)注冊| 產(chǎn)品展廳| 收藏商鋪|
當(dāng)前位置：深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司>>半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備>>3 CVD>> Pishow® A 系列8英寸電感耦合等離子體刻蝕設(shè)備
| 參 考 價(jià): | 面議 |
產(chǎn)品型號Pishow® A 系列
品牌魯汶
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所在地徐州市
更新時(shí)間：2025-06-05 21:28:05瀏覽次數(shù)：749次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來自 化工儀器網(wǎng)Pishow® A 系列
8英寸電感耦合等離子體刻蝕（ICP）設(shè)備
1. 詳細(xì)介紹
ICP是一種加工微納結(jié)構(gòu)的等離子刻蝕技術(shù)。具有刻蝕快、選擇比高、各項(xiàng)異性高、刻蝕損傷小、均勻性好、斷面輪廓可控性高、刻蝕表面平整度高等優(yōu)點(diǎn)。目被廣泛應(yīng)用于Si、SiO2、SiNx、金屬、III-V族化合物等材料的刻蝕?？蓱?yīng)用于大規(guī)模集成電路、MEMS、光波導(dǎo)、光電子器件等域中各種微結(jié)構(gòu)的制作。
2. 系統(tǒng)特性
擁有多種材料刻蝕解決方案，包括硅基材料、金屬、III-V和其他化合物半導(dǎo)體
可提供高低溫（-10℃至+150℃）工藝模式
可提供ALE解決方案，實(shí)現(xiàn)對刻蝕速率和均勻性的高精度控制
具備Bosch工藝能力，可提供高深寬比硅深槽或深孔刻蝕解決方案
適用于8英寸晶圓，并可向下兼容，提供單腔式和多腔式等多種腔室搭配方式
 |
 |
 |
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗(yàn)證碼
以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé)，化工儀器網(wǎng)對此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。
溫馨提示：為規(guī)避購買風(fēng)險(xiǎn)，建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。
| 評價(jià)時(shí)間 | 類別 | 詳細(xì)內(nèi)容 | 評價(jià)者 | IP地址 |
化工儀器網(wǎng)