Scios 2 DualBeam聚焦離子束掃描電子顯微鏡,用于超高分辨率、高質量樣品制備和 3D 表征
Thermo Scientific Scios 2 DualBeam 是一套超高分辨率的分析 聚焦離子束掃描電子顯微鏡 (FIB-SEM) 系統(tǒng),可為包括磁性和非導電材料在內的各種樣品提供出色的樣品制備與 3D 表征性能 。通過創(chuàng)新的功能設計提高了通量、精度以及易用性,是滿足科學家和工程師在學術、政府以及工業(yè)研究領域高級研究和分析需求的理想解決方案。
Scios 2 DualBeam聚焦離子束掃描電子顯微鏡主要特點:
快速、便捷的制備
使用 Sidewinder HT 離子柱獲得高質量、現(xiàn)場特定的 TEM 和原子探針樣品。
完整的樣品信息
通過各種集成式色譜柱內和透鏡下檢測器獲得清晰、精確和無電荷的對比度。
精確的樣品導航
高度靈活的 110 mm 載物臺和腔室內 Thermo Scientific Nav-Cam 攝像機允許根據具體應用需求進行定制。
優(yōu)化您的解決方案
靈活的 DualBeam 配置,包括可選配的最高 500 Pa 腔室壓力低真空模式,可滿足具體的應用要求。
使用 Sidewinder HT 離子柱獲得高質量、現(xiàn)場特定的 TEM 和原子探針樣品。
超高分辨率成像
使用在泛的樣品范圍(包括磁性和非導電材料)內具有性能的 Thermo Scientific NICol 電子色譜柱。
高質量、多模式亞表面和 3D 信息
使用可選配的 AS&V4 軟件,通過精確靶向感興趣區(qū)域來獲得高質量、多模式亞表面和 3D 信息。
無偽影成像和構成圖案
具有專用模式,如 DCFI、漂移抑制和 Thermo Scientific SmartScan 模式。

規(guī)格
| 電子束分辨率 | -
最佳 WD -
在 30 keV STEM 下為 0.7 nm -
在 1 keV 下為 1.4 nm -
在 1 keV(射束減速)下為 1.2 nm |
| 電子束參數空間 | |
| 離子光學系統(tǒng) | |
| 檢測器 | -
Trinity 檢測系統(tǒng)(鏡筒內和色譜柱內) -
T1 分段式下鏡筒內檢測器 -
T2 上鏡筒內檢測器 -
T3 可伸縮色譜柱內檢測器(可選配) -
多達 4 個同時檢測的信號 -
Everhart-Thornley SE 檢測器 (ETD) -
用于二級離子 (SI) 和二級電子 (SE) 的高性能離子轉換和電子檢測器 (ICE)(可選配) -
可伸縮、低電壓、高對比度、分段式、固態(tài)反向散射電子檢測器 (DBS)(可選配) -
帶 BF/DF/HAADF 分段的可伸縮 STEM 3+ 檢測器(可選配) -
查看樣品和腔室的 IR 攝像機 -
腔室內 Nav-Cam 樣品導航攝像機(可選配) -
集成的光束電流測量 |
| 載物臺和樣品 | 靈活的 5 軸電動平臺: |