WS-ALN100150倒片機設備 參考價:面議
WS-ALN100150倒片機設備中包含1臺6軸機械手組件,設備前端設有6個Loadport工位,每3個對應1個腔室。設有2個Buffer工位,每個Buffer...TAU Series離子微粒吸附設備 參考價:面議
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Oven設備是目前TFT產(chǎn)線耗電量較大的設備,Oven設備熱排管道排出的是230℃的高溫有機廢氣(光刻膠升華物),大量的熱能被浪費掉。在排氣管路上安裝熱能回收的...