Savannah ALD原子層沉積系統(tǒng)已成為全球從事ALD研究、尋求經(jīng)濟(jì)實(shí)惠且穩(wěn)健平臺(tái)的大學(xué)研究人員優(yōu)先的系統(tǒng)。過(guò)去十年中，我們已交付數(shù)百套此類系統(tǒng)。Savannah®高效利用前體和節(jié)能功能，大幅降低了薄膜沉積系統(tǒng)的運(yùn)行成本。

Savannah ALD原子層沉積系統(tǒng)主要特點(diǎn)包括：

原位橢偏度

原位量子運(yùn)力學(xué)

自組裝單分子層                            

2秒周期時(shí)間           

綜合臭氧                                   

低蒸氣沉積

批量處理                                  

手套箱集成                                  

Savannah®配備了高速氣動(dòng)脈沖閥，支持我們獨(dú)特的曝光模式™，用于超高展弦比基底上的薄膜沉積。這種經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的精密薄膜涂層方法可用于在寬高比大于> 2000：1的基底上沉積均勻、共形的薄膜。Savannah®提供三種配置：S100、S200和S300。Savannah®能夠容納不同尺寸的基材（S300可達(dá)300mm）。Savannah®薄膜沉積系統(tǒng)配備加熱前驅(qū)體管線，并可選添加最多六條管線。Savannah®能夠處理氣體、液體或固體前驅(qū)體。